Mehanska pospeševalna črpalka z ultra visokim vakuumom
Mehanske pospeševalne črpalke z ultra visokim vakuumom (UHV) (Roots Booster Pumps) povečajo pretok plina v nizkotlačnih-vakuumskih sistemih, kjer so potrebna visoka črpalna zmogljivost in hitri-časi izklopa.
Spodbujevalnik, ki deluje skupaj z združljivo podporno črpalko (kot je suha vakuumska črpalka ali črpalka z rotacijskimi lopaticami), uporablja mehansko delovanje s pozitivnim-pomikom za prenos plina s strani komore na podporno stopnjo. To znatno poveča učinkovito črpalno hitrost v območju srednjega do ultra-visokega vakuumskega tlaka.
Tehnične specifikacije
|
Parameter |
Zahteva za specifikacijo/izbiro |
Inženirski vidiki |
|
Vrsta izdelka |
UHV mehanska črpalka za dvig tlaka (princip Roots) |
Ojačevalec-visoke-prepustnosti s pozitivno prostornino |
|
Standardi prirobnic |
ISO-K / ISO-F, CF prirobnice ali po meri |
Izbrano na podlagi prevodnosti in celovitosti tesnila UHV |
|
Razpon hitrosti črpanja |
Od-odvisno od modela (glejte krivulje zmogljivosti) |
Izračunati ga je treba skupaj s prevodnostjo sistemskega voda |
|
Delovni tlak |
Srednji vakuum do ultra visok vakuum (UHV) |
Urejen s popolnim črpalnim nizom in izpustom plinov iz komore |
|
Ujemanje podporne črpalke |
Suha črpalka, rotacijska lopatica ali rotacijski bat |
Podporna zmogljivost se mora ujemati s pretokom izpusta pospeševalnika |
|
Največji diferenčni tlak |
Omejitev-specifičnega dovoljenega tlaka za model (Delta P max) |
Preprečuje toplotno preobremenitev in mehanske obremenitve |
|
Vakuum{0}}stranski materiali |
Nerjavno jeklo, obdelane zlitine, posebni premazi |
Nizka stopnja izločanja plinov in kemična odpornost |
|
Konfiguracija tesnjenja |
Elastomer (FKM/FFKM) ali kovinska tesnila (CF) |
Izbrano na podlagi stopnje puščanja helija in omejitev izgorevanja |
|
Stopnja puščanja helija |
Do 1 x 10^-10 mbar L/s |
Preverjeno z detektorjem puščanja masnega spektrometra |
Vodnik za izbiro in integracijo
Če želite izbrati pravo črpalko za dvig tlaka Roots in zagotoviti nemoteno integracijo v vaš vakuumski sistem, ocenite naslednje delovne točke:
Hitrost črpanja in ciljni tlak:Izračunajte zahtevano efektivno hitrost črpanja na vstopu v komoro ob upoštevanju prevodnosti cevi.
Obremenitev s plinom in procesni mediji:Ugotovite sestavo procesnega plina, korozivne lastnosti, prašne delce in stopnje izločanja plinov iz materiala.
Združljivost podporne črpalke:Zagotovite, da podporna črpalka obvladuje prostornino izpusta, ne da bi presegla največji dovoljeni diferenčni tlak (Delta P max).
Toplotne in sistemske zapore:Konfigurirajte tlačna stikala, pogone s spremenljivo frekvenco (VFD) in hladilne zapore, da se izognete mehanskim preobremenitvam med fazami grobega obdelave.
Tipične aplikacije
Polprevodniki in elektronika:Evakuacija in ravnanje s procesnim plinom za podporna orodja za jedkanje, CVD in litografijo, ki zahtevajo nizko onesnaženje.
Nanašanje in prevleka-tankega filma:Ohranja stabilen delovni tlak med-postopki PVD, naprševanja in optičnih premazov z visoko zmogljivostjo.
Raziskovalni laboratoriji:Visok{0}}zanesljiva vakuumska zmogljivost za komore za fiziko delcev, površinsko znanost in simulacijo vesolja.
Vakuumske peči in predelava:Učinkovito prenaša težke plinske obremenitve med visoko{0}}temperaturnim razplinjevanjem, vakuumskim spajkanjem in toplotno obdelavo.
Nadzor kakovosti in dokumentacija
Zanesljivost UHV zahteva stroge standarde izdelave in preverjanja:
Obdelava čistih prostorov:Več{0}}stopenjsko ultrazvočno čiščenje, razmaščevanje s topilom in embalaža-brez prahu za zagotavljanje nizkega izločanja plinov.
Testiranje natančnosti:Dinamično uravnoteženje rotorja, preverjanje dimenzij in testiranje puščanja helija z masnim spektrometrom.
Izdelki dokumentov:Model{0}}specifične krivulje hitrosti črpanja, orisi CAD/STEP, električni podatki motorja, certifikati materiala in poročila o preskusu puščanja.
pogosta vprašanja
V: Kakšna je primarna funkcija mehanske pospeševalne črpalke z ultra visokim vakuumom?
O: Ultravisokovakuumska mehanska pospeševalna črpalka poveča učinkovito črpalno hitrost in pretok plina v nizkotlačnih-vakuumskih sistemih. Prenaša plin iz vakuumske komore proti podporni črpalki, kar omogoča hitro praznjenje in višji končni tlak.
V: Ali lahko mehanska črpalka Roots deluje neodvisno brez podporne črpalke?
O: Ne. Mehanska črpalka za dvig tlaka zahteva ustrezno podporno črpalko (kot je suha črpalka ali črpalka z lopaticami) za izpust plina na atmosferski tlak.
V: Zakaj naj se izogibam izbiri črpalke za dvig tlaka samo na podlagi nazivne hitrosti črpanja?
O: Nazivna hitrost črpanja predstavlja idealen premik brez upoštevanja dejanskih-izgub v sistemu. Dejanska zmogljivost je odvisna od-prevodnosti vakuumskega voda, zmogljivosti podporne črpalke, delovnega tlaka in plinske obremenitve komore.
V: Kako preprečim toplotno preobremenitev med delovanjem pospeševalne črpalke?
O: Toplotna preobremenitev se prepreči z vzdrževanjem delovnega tlaka znotraj dovoljene meje diferenciala (Delta P max). Uporaba razbremenilnega ventila, pogona s spremenljivo frekvenco (VFD) ali tlačnega stikala za nadzor zagona-ojačevalnika ščiti črpalko pred čezmernimi obremenitvami s plinom.
V: Kateri previdnostni ukrepi za UHV čistočo se upoštevajo med proizvodnjo?
O: Pri storitvi UHV so komponente vakuumske-strani podvržene posebnim postopkom čiščenja, kot je ultrazvočno razmaščevanje, da se odstranijo ostanki ogljikovodikov.
Priljubljena oznake: mehanska pospeševalna črpalka z ultra visokim vakuumom, Kitajska mehanska spodbujevalna črpalka z ultra visokim vakuumom proizvajalci, dobavitelji, tovarna
