Vakuumska črpalka InPower Dry vane, ki se uporablja v industriji polprevodnikov za ustvarjanje čistega in suhega vakuumskega okolja. najdejo široko paleto aplikacij v industriji polprevodnikov zaradi svoje čistoče, zanesljivosti in učinkovitosti. Te črpalke so bistvenega pomena za postopke, kot so kemično nanašanje s paro, fizično nanašanje s paro, ionska implantacija in jedkanje.

Lastnosti:

Vakuumska črpalka s suhimi lopaticami je vrsta vakuumske črpalke, ki združuje prednosti tehnologije suhega vijaka z vodnim hlajenjem za izboljšanje zmogljivosti in učinkovitosti. Ponuja zanesljivo, učinkovito rešitev z malo vzdrževanja za zahtevne vakuumske aplikacije, ki zahtevajo suho delovanje in učinkovito odvajanje toplote.

Model: LGB30/50/70/110/150/180/200/220/270/300/360/400/500

Končni vakuum: Manjši ali enak 1Pa

HITROST 50 Hz:30-500 L/s

HITROST 60 Hz:36 - 600 L/s

Model			LGB30	LGB50	LGB70	LGB110	LGB150	LGB180	LGB200	LGB220	LGB270	LGB300	LGB360	LGB400	LGB500
HITROST (50Hz)		L/s	30	50	83	110	150	180	200	230	270	300	360	360	500
HITROST (50Hz)		m³/h	110	180	300	400	540	650	720	830	970	1080	1300	1500	1800
Končni vakuum (50Hz)		oče	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5
Najvišji izpušni tlak		bar	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.5	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2
MOČ (50Hz)		KW	4	4	5.5/7.5	11	15	15	18.5	18.5	22	30	37	37	37
Hitrost motorja (50Hz)		vrtljajev na minuto	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880
Povežite se	V	Mm	50	50	65	65	100	100	150	150	150	150	150	150	150
Povežite se	VEN	Mm	40	40	65	65	80	80	100	100	100	100	100	100	100
voda	Tok	L/min	6	6	10	15	20	20	25	25	28	28	28	28	28
	Pritisk	Mpa	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35
	Povežite se		G3/8"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"
Metoda hlajenja		Zrak/voda	Zrak/voda	voda	voda	voda	voda	voda	voda	voda	voda	voda	voda	voda	voda
Hrup		Db	75	75	75	76	76	78	78	78	80	80	85	85	85
Utež		Kg	310	310	475	570	840	840	1200	1220	1250	1300	1350	1380	1400
Posebne zahteve		V skladu z zahtevami ga je mogoče konfigurirati s spremenljivo frekvenco, proti koroziji, eksplozijsko varno itd.

inPower Dry vane vakuumska črpalka Področje uporabe:

Proizvodnja polprevodnikov:

Pri postopkih izdelave polprevodnikov, kot so CVD, PVD, ionska implantacija in jedkanje, vodno hlajene vakuumske črpalke s suhim vijakom pomagajo vzdrževati zahtevane ravni vakuuma, hkrati pa nudijo učinkovito odvajanje toplote, da se zagotovi dosledno delovanje.

Nanašanje tankega filma:

Vodno hlajene suhe vijačne črpalke se uporabljajo pri tehnikah nanašanja tankih filmov, kot sta razprševanje in izhlapevanje, kjer sta natančen nadzor vakuuma in upravljanje toplote bistvenega pomena za nanašanje enotnih tankih filmov na substrate.

Postopki toplotne obdelave:

Industrije, vključene v postopke toplotne obdelave, kot sta metalurgija in vesoljska industrija, se zanašajo na vodno hlajene suhe vijačne vakuumske črpalke za ustvarjanje vakuumskih okolij za žarjenje, trdo spajkanje in druge visokotemperaturne obdelave, hkrati pa ohranjajo sistem hladen.

Kemična in farmacevtska predelava:

Vodno hlajene suhe vijačne črpalke igrajo ključno vlogo pri aplikacijah kemične obdelave, kjer je vzdrževanje čistega, suhega vakuuma potrebno za reakcije, destilacijo in procese rekuperacije topil.

Raziskave in razvoj:

Laboratoriji in raziskovalne ustanove v različnih panogah uporabljajo vodno hlajene suhe vijačne vakuumske črpalke za preizkušanje in eksperimentiranje, ki zagotavljajo zanesljive vakuumske pogoje za preučevanje materialov, procesov in opreme.

Priljubljena oznake: vakuumske črpalke s suhimi lopaticami, proizvajalci, dobavitelji, tovarna vakuumskih črpalk s suhimi lopaticami

Suha vakuumska črpalka

inPower Dry vane vakuumska črpalka Področje uporabe: