Pri splošni vakuumski opremi je izpust materiala glavni vir plina vvakuumski sistem. Zato je namen vakuumskega razplinjevanja odstraniti čim več nečistoč in zmanjšati vsebnost plina v materialu.
Topnost plinov v kovinah je funkcija tlaka in temperature okolja. Obstajata dve vrsti sprememb topnosti s temperaturo: tiste, ki kažejo endotermne učinke med raztapljanjem, in tiste, ki naraščajo s temperaturo; Pri raztapljanju sprošča toploto, z naraščanjem temperature pa se njegova topnost zmanjšuje.
Raztapljanje plinov v kovinah je reverzibilen proces. Ko je kovina izpostavljena vakuumskemu okolju, je njeno prvotno dinamično ravnotežno stanje porušeno in plin se nagiba k raztapljanju. Postopek raztopljenega plina določa tudi hitrost difuzije nečistoč. Zaradi nizke stopnje difuzije nečistoč in debeline kovine jo lahko obravnavamo približno kot difuzijski plin neskončno debele trdne snovi.
V primerih, ko se topnost povečuje s temperaturo, zvišanje temperature razplinjevanja malo vpliva na učinkovitost razplinjevanja. Dejansko je s povišanjem temperature, čeprav se koncentracija plina v materialu poveča, povečanje koncentracije v pogojih visokega vakuuma zelo majhno, hkrati pa se pospeši difuzija plina, ki lahko doseže tudi ravnotežje z zunanjimi pritisk v kratkem času. Zato je ključ do vakuumskega odplinjevanja povečanje stopnje delovnega vakuuma opreme za razplinjevanje, ki na splošno zahteva, da je stopnja delovnega vakuuma materiala med odplinjevanjem nad 10-3Pa.
Ker je hitrost sproščanja odvisna od temperature, je treba pri načrtovanju vakuumskega sistema uporabiti podatke o dejanski temperaturi. Če takšnih podatkov ni, se lahko oceni na podlagi vrednosti pri dveh različnih temperaturah. Stopnja izpušnih plinov se spreminja eksponentno, zato je prostornina izpušnih plinov počasi spreminjajoča se funkcija časa (tj. ko se čas podaljša za velikostni red, se stopnja izpušnih plinov počasi zmanjšuje). Po dolgotrajni izpostavljenosti atmosferi se lahko materiali, ki so že bili razplinjeni, ponovno absorbirajo in povrnejo v prvotno stanje. Če je pogosto delujoč vakuumski sistem izpostavljen atmosferi za kratek čas (na primer v 1 uri) med dvema zagonoma, je to lahko enakovredno 10-urnemu izpušnemu času v vakuumu. Zato je treba za vakuumski sistem, da zmanjšate stopnjo izpusta zraka in skrajšate čas evakuacije, pogosto vzdrževati v vakuumskem stanju.
Poleg tega stopnja sproščanja plina materialov ni povezana samo z lastnostmi materiala in trajanjem sproščanja plina, temveč tudi s proizvodnim procesom, okoljem skladiščenja in metodami predobdelave površine (kot so čiščenje, pečenje, obstreljevanje s plinom). , površinska obdelava itd.) materiala. Na primer, pri čistih površinah velja, da večja kot je gladkost, manj se adsorbira vodne pare; Pečenje v suhem dušiku ali zraku lahko tvori gost bledo rumen oksidni film na površini nerjavečega jekla, zmanjša sproščanje plina in oksidira površinska onesnaževala v plin ali jih izžge; Pri uporabi organskih topil za odstranjevanje maščobe kontaminacije površinskega enoplastnega sloja ni mogoče odstraniti in jo je mogoče odstraniti samo s pečenjem pod vakuumom. Na primer, pečenje v vakuumskem okolju s temperaturo nad 200 stopinj lahko učinkovito odstrani vodno paro, vendar je treba za učinkovito odstranitev vodika vakuumsko pečenje izvajati pri temperaturi nad 400 stopinj. Na podlagi raziskav o količini plina, sproščenega iz materialov, je bilo doseženo naslednje soglasje:
(1) različne sorte, postopki izdelave in predobdelave podobnih materialov pomembno vplivajo na vsebnost plina;
(2) Med različnimi metodami predobdelave je najboljši učinek razplinjevanja dosežen s sežiganjem suhega vodika invakuumsko zdravljenje(pečenje, žarjenje, taljenje). Ustrezna površinska prevleka in površinska korozija sta prav tako koristna. Učinek kemičnega čiščenja na zmanjšanje emisij plinov ni zelo pomemben, vendar predhodne kemične obdelave materialov in delov ni mogoče prezreti, da bi se izognili kontaminaciji vodikove peči in vakuumske posode med nadaljnjim sežiganjem vodika ali vakuumskim razplinjevanjem, kar lahko povzroči ponovno kontaminacijo drugih materialov, predelanih v prihodnosti.
(3) Materiala, ki je že bil razplinjen, se ne morete neposredno dotikati z roko, sicer bo obnovil skupno količino izpraznjenosti.
(4) Debelejši kot je material, nižja je temperatura in počasnejši upad hitrosti sproščanja plina. Ta situacija je v skladu s Fickovim difuzijskim zakonom.
